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1200度转动式PECVD系统

技术参数
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RTL1200-PECVD系统技术参数

RTL1200 管式炉	型号	RTL1200-PECVD
	功率	3.5KW
	炉管尺寸	Dia 60(OD)X1400mm


	外形尺（LXDXH）	1300X420X1200
	电源电压	220V
	相数	单相
	加热元件	瑞典Kanthal A1 进口电阻丝（电阻丝可承诺保修2年）点击进入资料下载
	控制方式	采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能（更换进口仪表，需要另外付费，选购） FP93控温仪表（日本岛电）欧陆仪表触摸屏仪表
	控温模式	智能PID
	断偶保护和显示	有
	过温保护	有
	过流保护	有
	炉膛材料	1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、采用日本技术成型，不掉渣，保温好 3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
	控制精度	+/- 1 ℃
	触发器	移相触发
	电器	浙江正泰
	可控硅	106/16E 德国西门康
	最高温度	1200 ℃
	额定温度	1100 ℃
	升温速率	≤20 ℃/ Min （可根据要求修改）
	推荐升温速率	≤10℃/ Min
	热电偶型号	K 型
	加热段长度	400mm
	真空法兰	1、为了增加抽气速率，达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25） 2、如用于供气系统，可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头.
	转动电机功率	40W
	电动推杆功率	40W
	炉子倾斜角度	-10~30度
	炉管转动速率	采用无级变速电机转速可在1-25转/min 之间可调
	转动密封方式	采用转动磁流体密封
	四周表面温度	≤45℃
	阀门和法兰
射频电源（等离子体发生器）	功率输出范围	0-500W
	最大反射功率	10W
	信号频率	13.56MHZ±0.005%
	冷却方式	空气冷却
	输入电源	208-240V 50/60HZ
GX供气系统主要参数	流量控制和检测采用 D07-7C 质量流量计	标准量程	采用质子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择量程和所通气体的类型）
		最大工作压力	3MP
		准确度	±1.5%
		气压降	<0.01MPa
		重复精度	±0.2% F.S
	路数	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）
	接头类型	双卡套不锈钢接头
	系统工作压力范围	0.1~0.5 MPa
	工作温度	5-45℃
	压力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
	静态混气室	Dia50 X 400MM
	接口	Dia6 1/4”
VS-0.1抽气系统	电源	220V
	尺寸	600X600X600
	波纹管	KF25X1000mm
	用该系统抽炉管真空度可达	10 ^-1Pa
	真空挡板阀	KF25
	VRD-8真空泵 (方案一)	型号		VRD-8
		极限分压强		5X10^-2Pa
		进排气接口		KF25
		电机转速		1440RPM
		抽气速率		2.2L/S
		电机功率		0.4KW
	Perfeer ACP15 无油干泵（方案二）	型号		ACP15
		电源		100-240V 50/60HZ
		极限分压强		0.02 Torr
		进、排气接口		KF25
		重量		25KG
		最高氦气漏率		5 · 10-8 Pa m3/s
		抽气速率		14 m3/h
		功率		450W
	电阻真空计	型号		ZDR-1
		功率		25W
		真空度测量范围		0.1-10 ⁵Pa
		电阻硅		ZJ-52T
	瑞典（INFICON皮拉尼陶瓷电容真空计（选购）	型号		PCG554
		输入电压		24V 1A DC（配有220V变压器）
		真空计接口		KF16
		数字显示		数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
		产品尺寸		46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
		重量		5 lbs
		检测气体		可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。
		是否防腐		防腐
		响应时间		≤30ms
		测量范围		3.8x10-5 -1125 Torr.
分子泵机组（选购）	机组输入电压	380V /220V
	波纹管	KF40X1000
	真空挡板阀	KF40
	机箱尺寸	600X600X600
	分子泵（方案一）	分子泵型号		FJ620
		输入电压		380V
		分子泵进气口法兰		DN160
		分子泵抽气速率L/S（对空气）		600
		分子泵极限压强（Pa)		6×10^-7
		冷却方式		水冷
		冷却水压（MPa）		0.1-0.2
		冷却水温度		<25℃
		环境温度		0~40℃
		建议启东压强		<100Pa
	前机真空泵RVP-6 （方案一）	功率		0.75KW
		电压		380V
		转速		1450rpm
		进气口径		KF25/KF40
		前机泵抽气速率（L/S）		6
		极限压强		4X10 ^-2Pa
	德国Pfeiffer真空泵（方案二）	电压		220V
		功率		110W
		抽气接口		KF40
		重量		150KG
		前机泵抽速		0.9m ³/ h
		抽气速率（N2）		33L/S
	复合真空计	复合真空计型号		ZDF
		电源		220V 55W
		控制精度		± 1%
		真空计测量范围		10^-5-10 ⁵Pa

保修期

一年保修，终身技术支持

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不在保修期内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa

3.当使用的炉管为刚玉管时，炉体温度高于1500℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当

4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击

5.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚

7.MoSi₂加热元件不得长时间在在低温下(400℃-700℃)使用,否则将可能损坏加热元件

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

Kanthal A1 原丝国产电阻丝炉膛 VS 进口电阻丝炉膛

(1)、表面温度高可达1420℃

(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站：www.kanthal.com

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝电阻均匀、发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小温场效果好

2、安装有空气开关和漏电保护器：

当电路过流或漏电时，空开会自动断开。

、

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出

4、炉膛

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热，温场更加均衡

5、可选UL认证电气板（全部通过UL认证的进口电器）

6、认证

7、法兰

铰链式法兰（选购）可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购）水冷法兰（选购）

描叙	数量	图片
RTL1200管式炉	1 套
石英管	1根
不锈钢法兰	1 套
不锈钢炉钩	1 个
石英炉塞	1对
高温手套	1 双
Ｋ型热电偶	1个
485转换接口和软件（选配）	1 套
说明书	1本
法兰支撑架	1 份
供气系统	1台
VS-0.1抽气系统	1台
射频电源	1台
卡套	4个
波纹管	1支
真空挡板阀	1个
钢瓶接头（N代表路数）	N个
阀门接头	2